二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240250 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000湿式加工站是一种高性能湿式加工站，专为要求苛刻的半导体制造应用而设计。该平台为广泛的先进光刻任务提供了最高程度的自动化和控制，包括光致抗蚀剂浇头、洗涤、浆料缓冲、喷涂、曝光后烘烤和抗蚀条。DNS FC3000可以配置为满足特定的流程要求。它有一个集成的超音速水箱、一个耐化学的床垫、一个去离子水（DI）水箱和一个耐化学的通风设备。通过直线电动机实现喷嘴和传感器的高精度运动，在多个批次上提供准确和可重复的操作。该系统配有PDV-3000 RIST控制器，可精确控制温度、压力和其他参数。DAINIPPON FC 3000具有自动清洁装置,可执行洗涤、干燥和抛光操作。也可以设置为自动分配所需的化学品。本站兼容了广泛的化学品和抗蚀剂，包括Zippy系列和其他高性能的抗蚀剂材料。它还提供各种模具和喷嘴套件,以及干式、湿式和浸入式蚀刻功能。先进的安全和安全功能使DAINIPPON FC3000敏感流程环境的一个有吸引力的选择。它是为了遵守严格的安全和安保协议而建造的。因此,它已通过认证以满足最严格的UL和CSA标准。此外，该站还符合MOSFET Level III和HAST测试标准，确保了最高水平的重复性和可靠性。除了上述功能外,DAINIPPON FC-3000还与拖放作业调度机集成在一起,使操作员能够有效利用可用时间。这使得该平台非常适合繁忙网络中的高通量应用程序。FC-3000湿式测站的设计旨在为复杂的光刻工艺提供最高水平的自动化和控制。它提供了对参数的精确控制，包括温度、压力和化学物质的分散。DNS/DAINIPPON FC 3000具有自动化清洁工具、先进的安全功能和用户友好的作业调度功能,是要求很高的半导体制造应用程序的首选产品。