二手 DNS / DAINIPPON FC-3100 #9137273 待售

DNS / DAINIPPON FC-3100
ID: 9137273
晶圆大小: 12"
Systems, 12".
DNS/DAINIPPON FC-3100是一个设计用于光刻工业的湿式站。它配备了20英寸的光刻盘,具有专利双喷嘴设计,在处理光掩模、步进器、扫描仪和投影/还原光学器件时允许明显更高的吞吐量。此外,DNS FC3100中还可以设计多种可选的附加模块。因此,DAINIPPON FC 3100可以配备自动流体开关、自动喷嘴高度可变性、自动级行程限制设置、自动解决方桉温度控制等额外功能。DNS/DAINIPPON FC 3100还拥有一系列令人印象深刻的其他功能。该装置有两级沉降罐、集成化学纯度监测设备和用于改善流体循环的涡轮溷合室。两级沉降罐使每一个光掩模都能得到更彻底和快速的处理,而化学纯度监测系统让用户安心,知道它正在处理的化学品质量是达标的。涡轮溷合室还提供均匀高效的流体循环,保证光掩模得到充分处理,所有光致抗蚀剂均匀分布在基板表面。此外,DNS/DAINIPPON FC3100具有直观的用户界面,具有物理键盘和交互式液晶显示器。基于Windows的软件包还为用户提供了对物理键盘、显示器以及化学纯度监控单元和涡轮溷合室设置的控制。此外,许多项目和条件可以预先编程到软件包中,以便FC-3100通过自动处理一系列照片掩码来节省时间和成本。为了增加便利和安全,DAINIPPON FC3100还内置了一个安全室。该腔室通风,并配有传感器,用于检测温度或化学浓度何时超过一定水平。如果发生这种情况,警报会响起,腔室的过滤器会自动启动以清除任何危险物质。此外,轻型窗帘机可防止GC-3100的细腻零件意外损坏。最后,FC3100是一个非常可靠的湿式工作站,为用户提供卓越的光掩模处理性能.其创新设计具有优越的流体流动、直观的用户界面、化学纯度监测工具、安全室以及各种可选的附加模块。此外,基于Windows的软件包使控制DNS FC 3100成为一种微风,允许各种定制的预编程设置。
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