二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #293592680 待售
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ID: 293592680
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Wet station, 8
S/D
ONB1
ONB2
ONB3
CSB1 Chlorine
CSB2 H202
CSB3 HF
CSB4 HCL
CSB5 HF
Chemicals: H202, HCL, HF, Choline
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Dual megasonics
Robot loading
1997 vintage
DNS/DAINIPPON FS-820L湿式工作台是用于处理小型和大型基板的台式清洁室设备。它为各种基于晶片的应用提供了高质量的工艺结果,包括电镀、湿蚀刻和光刻带。DNS FS-820L是实验室的理想选择,特别是由于它的手动或自动泵的选择.这个湿式工作台带有自动化的过程控制,包括可编程安全系统和图形用户界面;这使用户能够轻松监控流程参数。DAINIPPON FS-820L湿站的主要部件是主框架、主坦克、背面坦克、溢流坦克、废物罐、青铜网盘以及多个可选坦克。主罐,又称浸泡罐,在加工过程中保存零件和液体。它由不锈钢制成,绝缘以保持预定温度。同样采用不锈钢制成的背面水箱,用来固定浸入式水箱和溢流式水箱。此外,青铜网托盘有助于保持液压悬浮部件在储罐底部的水平,而不是在过程中移动。溢流罐设计用于回收通过主罐的电镀溶液,然后再利用。废料罐用于有效处置受污染的溶液和去溷合电镀溶液。FS-820L湿站还包括其他辅助部件,如DI水和循环泵、工艺控制器和功率棒,用于控制定子液体的温度、压力和流量。此外,DNS/DAINIPPON FS-820L还配备了气动膜转运站。该站用于确保每个零件在湿法过程中得到安全处理和精确定位。冲洗装置也与该站集成,允许控制定子液体的污染水平。DNS FS-820L湿式工作台采用模块化结构设计。这允许根据用户的需求和预算添加组件。该站还设计用于提供与各种定子的兼容性,并考虑到用户安全。先进的滤水机有助于减少污染物,内置的DI水使工艺速度更快、效率更高。DAINIPPON FS-820L是一个节能的湿式站,它提供完整、自动化的解决方桉,以满足各种晶圆处理应用程序的需求。
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