二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #293753902 待售

DNS/DAINIPPON FS-820L是为湿工艺应用而设计的湿式工作站。该湿站提供了一个完整可靠的工艺解决方桉，以满足研究和生产的需求。该站由几个组件组成，包括湿式站体、腔室、晶圆盘和控制器。湿式站体由坚固、耐腐蚀的不锈钢底座和耐高温顶盖组成。该腔室分为两段，工艺腔室的温度范围为10至180 °C，湿度范围为0-60%。该腔室还有一个集成腔室通风系统，用于控制和维护操作过程中的最佳腔室条件。湿式工作站包括一个带有五个可调托盘的大托盘台，允许用户同时高效处理多达五个不同的晶片。控制器是湿式站的中心单元，设计用于支持手动和自动湿式过程。它能够控制温度和湿度等过程参数，以及控制机械臂的运动以进行样品处理。控制器最多可编程32个配方,最多可编程64个流程步骤。湿站有一个内置PC与PC软件提供数据记录和分析过程条件和过程结果。湿站安装操作方便。它的占地面积很小,可以放在任何生产环境中。该站获得CE和UL认证，非常适合工业用途。DNS FS-820L是一种可靠、高效且经济高效的湿加工工艺解决方桉。