二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #9026293 待售

DNS/DAINIPPON FS-820L湿式站是专门为半导体工业设计的先进湿式加工机。它能够处理晶片级和芯片级流程,从而提高流程灵活性和吞吐量。DNS FS-820L的主要特点是其先进的水解技术。这项技术使用户能够实现高水平的工艺重复性和低水平的晶圆经纱和颗粒污染。它还具有按需处理的功能,可实现快速、准确的流程运行。DAINIPPON FS-820L的核心是它的拆分模块,分为清洁、干燥和IPA冲洗五个阶段,每个阶段都针对每一个过程进行定制。拆分模块可实现最高级别的清洁、干燥和IPA冲洗性能,从而确保完美的最终产品。此外,GlaCeraTM溶液可将纯净水保持在稳定的超低温下,以防止泄漏并确保清洁。FS-820L还包括一个加载臂模块,该模块具有三个阶段的过程,可以根据特定需求进一步定制一个过程。此模块可帮助自动执行负载端口、端部效应器和平电池拆卸/安装等过程。湿式工作站还提供了许多其他功能，如增强的带有液晶的用户界面和可定制的按钮，用于简化流程设置；以及用于控制、数据收集和流程可追踪性的直观软件包。总体而言,DNS/DAINIPPON FS-820L是一个高效可靠的湿处理系统,可提供多种工艺选择。它旨在最大限度地提高工艺效率，最大限度地减少晶圆扭曲，并确保最佳的颗粒污染水平。DNS FS-820L具有先进的功能、灵活的工艺功能和直观的设计,是半导体行业的理想工具。