二手 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9095610 待售

DNS/DAINIPPON MP-3000是一个用于半导体晶片台式加工的湿式工作站。它用于在氮环境下用集成的工艺室清洁或干燥晶片基板。湿式站设有独特的自动可编程过程控制器，最多可节省15个周期和50个程序配方。这使DNS MP-3000能够快速高效地开发和重复标准或特定于过程的循环配方。其低氧环境可确保低型模具附着过程,而其-55°C至200 °C的可调温度范围可确保最佳蚀刻速率,而不会造成热弯曲或热失控。DAINIPPON MP3000配备了三个独立的冲洗站和两个空化系统，可实现一致的湿法晶片清洗。冲洗站可调整为固定的重复冲洗时间或每次单独冲洗的独立中继站。空化系统产生分子水平的气泡相互作用，快速有效地分解有机残留物。循环过程包括一个真空室，用于在湿法化学过程后干燥基板，从而实现快速高效的循环一致性。MP3000还具有手动和自动盖子打开/关闭功能以及集成的泄漏量规控制功能,以保持高工艺质量。排水溢流保护可防止漏水,而循环过滤系统可对各种清洁剂进行经济高效的过程控制。其集成的晶圆弓校正系统可提供卓越的基板平整度,而不会延长加工时间.湿站拥有直观的用户友好触摸屏控件，使配方设置和操作简单高效。DNS/DAINIPPON MP3000具有内置PC系统,其内存容量大,可存储多达2,000个配方和200组生产/产量数据。它还具有集成的通信选项,可提供强大的数据管理功能。其全面的设计，保证了优越的晶圆表面清洁度和均匀度，优化的基板平整度，以及优越的循环一致性。