二手 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9127747 待售

DNS / DAINIPPON MP-3000
ID: 9127747
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Metal wet etch, 12" Separation unit: (5) Chemical cabinets: CC1 CC2 CC3 CC5 MU (2) Local chemical supplies: TK CSU Controller: UPIBOC-III MEIDEN ID Robot: YASKAWA XU-RCM 5400 TR Robot: Komatsu HGR-62-D Temp. controller: Yaskawa XU-CM 5800 Teach pendent Signal tower: (3) Colors (GYWR) Type: PATLITE LED Power supply: 200V, 3 Phase, 33kVA, 94A, 50Hz (Main break: 125A) 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON MP-3000是用于制造半导体器件的先进湿加工站。该系统旨在最大限度地提高效率,同时最大限度地降低与生产相关的成本。该站将包括德加单元、自旋漂洗烘干机、化学浓度监测仪和化学分配单元在内的几个单独设备的能力全部合并为一个工作站。它对于需要多个步骤的过程特别有用,因为该站可以很容易地集成到现有生产线中。德加装置用于通过沸腾和热诱导汽化去除液体中的杂质,例如水。这有助于保持生产环境的清洁和无污染物。自旋漂洗干燥机利用离心力,在同一循环中有效地漂洗和干燥晶片,快速而干净。可以使用多种化学物质,包括酸、碱和洗涤剂,以实现最佳清洁。化学浓度监测器的设计目的是确保向晶片中添加适当数量和类型的化学物质。这是通过测量液体中的各种组分浓度,并在操作人员需要调整化学浓度时向他们发出警报来实现的。化学品分配单位与化学品浓度监测仪配合工作,以提供安全和准确的化学品分配。这消除了手动测量和分配的需要,从而减少了污染的机会。DNS MP-3000除了具有许多功能外,还易于操作,并配有用户友好界面,使操作员能够根据需要快速调整设置。这些设置可以保存并重新用于以后的进程。总体而言,DAINIPPON MP3000是一个现代化的湿式站,可以使任何半导体生产线受益。它兼具特性和功能,使其成为可靠高效的选择。
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