二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-820L #9389670 待售
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ID: 9389670
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Wet station, 8"
PLC Damaged
Acid tank
Controller
QUARTZ
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L Wet Station是一种多功能、高精度的自动化湿加工盒，用于半导体光刻等工艺。该设备设计用于通过一系列精确的不同化学处理处理半导体晶片。它由一个主机柜单元和四个附件选项机柜组成。主柜包含十二个独立的化学容器/工艺系统，每个系统配置有盒式系统或集成的化学供应单元。这些过程可以包括湿蚀刻、灰泥和清洁。此外，该机器还包括一个化学回收工具、一个储存和管理化学污泥的装置，以及一个内置的控制资产和一个触摸屏显示器。DNS WS-820L还提供了广泛的功能,以确保高效和准确的操作。它有能力同时处理多达18 300毫米晶片，并能容纳数量最多一升的各种化学品。它有一个警报，警告潜在的泄漏，并提供各种保护模式，以防止化学品暴露在泄漏的情况下。此外,触摸面板显示屏还允许轻松操作和可视化。其安全特性包括防止化学容器盖和工艺浴盖意外打开的联锁和传感器。SCREEN WS-820L还具有几种控制功能,可确保准确性和稳定性。它提供模拟和数字输入和输出,用于连接到IC测试人员、数据收集器和其他设备。它还能够支持多达30个具有定制配方的并行过程。此外,它还可以连接到其他摄像机和图像分析系统。总体而言,WS-820L湿站是一个高精度的自动化湿加工盒,旨在通过蚀刻、灰化和清洁过程高效、准确地加工半导体晶片。它具有多种功能，包括回收模型、控制设备、触摸屏显示以及安全功能。此外,它还提供模拟和数字输入、输出以及支持30个具有定制配方的并行过程的能力。
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