二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #293638917 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000是一种湿式站解决方桉,旨在为半导体器件和部件的制造和计量提供统一、清洁和可靠的湿式蚀刻工艺。湿蚀刻是使用化学物质完成的，这些化学物质会反应和蚀刻细腻的金属，如铝和铜。这项技术被用于许多不同的半导体应用，如MEMS器件、微流体芯片和纳米机电系统（NEMS）。DNS SU-3000的核心是液体分配设备，其设计目的是准确、精确地控制湿蚀刻过程中使用的酸性和碱性化学品的分配。该系统能够准确地控制化学品的输送，并确保将所需数量的化学品输送到需要蚀刻的基材上。该单元还包括用于制造均匀溶液并确保均匀蚀刻速率的溷合机和泵。DAINIPPON SU 3000还包括一个电动基板支架，用于在蚀刻过程中固定和移动基板。这种电动支架的设计目的是为基板提供一个安全可靠的平台，同时也提供基板相对于液体分配和蚀刻室的精确移动。这样可以对基板进行均匀蚀刻,同时也可以避免手动处理可能造成的任何潜在损坏或不均匀。DNS/DAINIPPON SU 3000还包括一个安全和控制工具，旨在确保以安全和受控的方式进行蚀刻过程。资产使用传感器监测和检测蚀刻室或周边地区是否存在任何有害物质。它还包括一个互锁模型，如果检测到任何有害物质，它将自动切断蚀刻室的电源。SU-3000是一种湿式站台设备，可对敏感金属层和部件进行可靠、清洁和均匀的蚀刻。它提供了极好的精确度、控制和安全系统，能够可靠地操作蚀刻工艺，同时还能提供干净和统一的结果。该系统能够蚀刻各种金属层，可用于各种制造和计量应用。