二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9210948 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000湿式测站是一种综合性的光刻工具，设计用于提供各种光刻和亚微米工艺的精确、高分辨率结果。该设备具有最先进的湿式舞台和光学设备,包括用于掩模对准、阵列和编辑的高级选项。该系统采用独特的快速回流工艺，在晶片上快速涂覆和发展抗蚀层，使其最适合于掩模制作、光掩模检测以及传统光学光刻等应用。DNS SU-3000为所有类型的光刻工艺提供了一个坚固、稳定的平台,具有高度精确和可调的扫描级、XY级以及先进的光学和成像系统。湿级设计为高通量，操作简单，符合人体工程学，开销低。扫描头配备了可调扫描仪，提供自动模式对准和高速、精确的移位扫描。光学和成像系统提供了一系列自动对齐模式和编辑工具,如模式迭加、子单元调试和基于模式的注册。此外,该设备还通过其先进的视觉设备提供先进的晶圆对准和形状检测功能。它可以配置用于各种不同的工艺需求，包括介电、多晶硅蚀刻和其他所需的工艺，这取决于应用程序的要求。该工具具有全自动的实时反馈功能,能够快速高效地转动抗蚀层,从而提高过程的准确性和吞吐量。该资产能够产生高质量和细节的照片蒙版、标线和其他抵抗层。因此,它非常适合实现高分辨率和复杂的功能。此外,它还具有过程控制功能,包括全参数调整、直观的用户界面以及专用的数据记录和报告生成模型。这些功能有助于简化流程并确保可靠、可重复的结果。DAINIPPON SU 3000湿站是满足微光刻需求的理想解决方桉,可提供一致的结果和可靠的性能。这种综合设备结合了最新的工艺自动化和成像技术，使其成为任何光刻或蚀刻工艺的绝佳选择。