二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9221903 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000是一个湿式站，设计用于洗涤用于生产半导体器件的载波、晶圆、Kiyo等基材。该站是一个全自动设备，能够在操作人员很少注意的情况下完成操作。该系统由一个储罐舱组成，由一个储罐、出口排水盘、除泡器、液位控制器和溢出警报组成。罐舱作为循环单元中处理晶片的环境。车站的循环部分由循环泵、压力计和流量计、加热电路以及容纳基板的钛室组成。室内温度控制，可精确控制温度、压力和流量。晶圆的循环通过压力计/流量计进行监测，以获得最佳结果。腔室和循环机器的组合确保晶圆上存在的所有污染物都能被清除。该站还设有自动自清洁循环，以及可手动启动的清洁循环。该站采用直观的触摸屏控制，使操作员能够调整周期设置，监控工具性能，并跟踪生产统计数据。该站能够储存多达50种食谱，能够高效处理多种基材。该站的设计考虑到安全，设有紧急停止按钮和安全罩，在操作过程中打开安全罩时可以激活。该站运行在单相、300VAC电源和标准的16A单相插座上。DNS SU-3000能够处理各种不同的基板，使其成为满足广泛生产需求的理想选择。它是一种可靠、易于使用的资产,以最小的工作量提供准确、可重复的结果。