二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9280925 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000是为制造阶段的微电子器件涂层后端工艺而设计的湿式站。它设计用于真空环境，使晶片表面与液体化学物质和基板接触，不受空气或其他污染。DNS SU-3000采用集成、多步骤和灵活的制造工艺,包括化学或气相沉积工艺、自旋涂层、烘烤、冷却和热固化。所有这些过程都是由数字计算机系统控制的。工艺的每一个步骤都是在液体环境中实现的，这种环境有助于在设备的表面上创造统一和一致的涂层质量。雾化化学液滴均匀分散，可以精确调谐，以尽量减少任何有害变化的影响。湿式工作站有一个负载单元，可以测量元件的重量，自动调整配方参数，并优化可重复性。过程中收集的数据被记录到计算机内存中以备将来使用。DAINIPPON SU 3000配备层流系统，有助于减少空气中的颗粒，调节颗粒尺寸。它还具有背光LED显示器,可在弱光条件下实现最低能见度。车站设计具有先进的安全特性。它有两个可调节的隔膜阀，帮助调节蒸气和防止任何意外液体溢出或暴露。安全功能包括自动环境监测和警报,有助于确保操作员的安全。DNS SU 3000是一个易于使用、成本效益高且可靠的湿式站，有助于提高微电子工业中薄膜沉积工艺的效率和质量。它提供了可自定义的配方参数、高精度的重量调整、环境监控以及高流程可重复性。