二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9361457 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000湿站是一种高性能的加工工具，旨在有效地制造半导体晶片和掩模等基材。这个湿站集成了最新的技术进步，提供了最高的精密处理能力。DNS SU-3000湿站非常适合需要精密的微蚀刻工艺的应用,同时还提供了可靠的平台,并使工艺与标准行业实践保持一致。DAINIPPON SU 3000提供了一套高性能的工艺工具和功能,包括XY-Drive模块和无刷主轴电机,可提供高扭矩功能和高速主轴组件,以最大程度地减少振动。集成控制器支持手动和自动加载/卸载多个晶片批次和PLC逻辑自动流控制。此外,控制器还支持过程监视,允许用户在进一步处理之前监视串联晶圆厚度。DAINIPPON SU-3000平台的紧凑、符合人体工程学的设计提供了对所有组件和系统组件（包括压板、前门和机柜）的绝佳访问。每个系统还包括一个夹具，使基板易于处理和自动加载。夹具还用作底物对准和复杂工艺控制的夹具。湿式站支持广泛的工艺，包括缓冲和阻滞层光刻、环氧定向切割、化学机械平面化（CMP）和化学蚀刻。设备的快速锁定平台确保基板在加工过程中保持完美水平。DNS SU 3000还提供多种高性能的化学预处理，包括化学和机械洗涤、化学抛光、过氧化氢氧化。SU 3000湿站提供了多种特性和性能的结合，使其成为高级湿法分析的理想选择。该平台提供了可靠且经济高效的解决方桉,非常适合各种湿处理应用。