二手 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293596498 待售

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ID: 293596498
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Wafer cleaning system, 12" (12) Chambers (2) Ozone CIM: SECS / GEMS Process: SOM / SPM / SC1 / SC2 / O3W / DHF KAWASAKI Handler Factory interface: (4) FOUP 2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200是一个湿式加工站,设计用于执行各种湿式加工步骤,包括电镀、光刻、蚀刻和制备步骤。该站的主要部件包括浸入式储罐、压实容器、真空储罐、阳极舱和蚀刻室。此工作站适用于在单个处理设置中执行多个应用程序。DNS SU-3200浸泡罐具有连续进料能力和受控搅拌特性。该罐设计用于零件的快速溶解、活化和清洁。它具有可调速度搅拌器,温度范围为20-60°C。它还包括一个加热的溢流罐,使电解质水平保持在产品水平以上。压实容器用于在产品加工过程中固定产品。它设计用于在电镀过程中对产品施加压力,同时也作为电解质溶液的储罐。它具有可调节的高度裙,温度控制范围为40-60°C。真空罐用于在罐内产生真空。这在进行光刻时很重要,因为真空有助于确保均匀的薄膜涂层。坦克装有疏散孔、进气口和出口口,温度范围为40-60°C。阳极隔室是零件被镀的腔室。它包含一个加热元件来增加温度,以及一个可调节的挡板来优化电流密度。它具有用于计算机控制的电镀过程的电气连接。最后,将蚀刻室用于湿蚀刻。它配有一个大开口,用于转移溶液,以及独立的温度控制和真空控制。腔室有可调节的挡板,有助于控制电流密度。总体而言,DAINIPPON SU 3200是一个可靠的湿站,用于执行各种湿处理应用。多个储罐和密室使其成为进行多种应用的多功能湿站。其可调的温度控制和搅拌能力有助于确保高精度的结果。
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