二手 DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514 待售
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ID: 9152514
优质的: 1995
Wet station
Load
CHCL Shower N2 blow
DHF
Q Etch
EDR
IPA Dryer
Unload
1995 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820C湿式工作台是完成高质量晶圆加工所必需的湿式工作台设备。它是一种全自动、单站或双站、精密控制的湿处理设备，其设计目的是实现最高效率、最小操作员互动和可重复、高度准确的结果。硬件配置包括一个合金步进器、双面电动平台、两个歧管和湿工艺罐、一个背面去离子化（DI）冲洗罐和一个用于处理每个工艺周期多个晶片的集成输送系统。该装置的设计提供卓越的温度和化学溶液的稳定性，以及出色的机器控制。它具有可编程晶片索引和嵌套晶片处理、同步低流量和高压操作、晶片和载波处理定位器、喷墨晶片识别以及用于控制数据的全数字化工具,包括手动和自动模式、故障检测和恢复能力。该双面平台采用集成输送机，可处理多个晶片，与大型工艺和冲洗罐协同工作，提供线性移动能力，允许高精度运动和可重复性控制。此外，资产包括一个DI储罐，利用晶圆的背面压力防止晶圆粘附在储罐表面，也允许人工操作。集成的车载计算机通过流程配方对模型进行全面控制,实现了对流程参数的全面可追踪性和更好的控制,以及故障检测、紧急停止、流量和压力监测及恢复能力。错误事件预防和跟踪系统还具有完全验证功能。DNS WS-820C与世界上最受欢迎的软件套件如STATS、CALC、MPS等完全兼容，为配方准备和实现提供了支持。手动和自动操作的完整配方库提供了一次又一次可复制结果的机会。湿式工作站有三种不同型号的DAINIPPON WS820C、WS-820CR和WS-820W,它们还具有针对特定应用程序和需求量身定制的多种配置和访问器。DNS/DAINIPPON WS820C模型是专门为晶片清洗而设计的,而RJSTX-200支架是晶片曝光过程的理想选择。WS-820W包包括一个集成的晶圆夹紧设备、气柜、辅助控制器和各种气动控制单元。
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