二手 DNS / DAINIPPON WS-820C #9364372 待售
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DNS/DAINIPPON WS-820C湿式站是一种先进的单罐湿式工艺设备，专门为高效、经济高效地生产半导体集成电路而设计。该系统适用于各种湿工艺步骤，包括蚀刻、清洁、喷雾、沉积等。车站由一个主月台、一个房间、一个主柜子和一个控制台组成。主平台为主处理区域，可容纳多种流程模块，可根据不同流程需求定制。腔室外壳容纳了化学过程，如蚀刻和沉积，这些过程通过用户友好的触摸屏控制控制台进行监测和控制。主机柜装有主要的工作流组件，如软件控制的化学流适配器、干气泵和化学加热器。控制柜配有先进的数字温度和压力监测单元，可以调节化学过程所需的参数。此外，还采用了电化学阻抗光谱（EIS）监测仪，以确保蚀刻过程的稳定性和准确性。控制柜还采用了一系列泵将化学品快速输送到加热器，以进行精确的温度控制和反应物补充。该工具还包括高级图像分析软件,可用于检查正在处理的部件。DNS WS-820C湿化站能够处理各种类型的湿化化学品，包括氢氧化铵、氢氧化钠、盐酸、铬酸、硫酸、硝酸等酸性溶液。该站的部件具有耐腐蚀性能,设计为以最佳性能运行多年。该站维护成本低，效率高，是预算和工艺要求有限的工作场所的理想选择。
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