二手 DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878 待售

DNS/DAINIPPON WS-820L湿站是用于高精度光刻和处理先进半导体技术的最先进的半导体设备设备。该系统由半导体加工系统制造商DNS和半导体材料制造商DAINIPPON联合开发，提供质量最高的晶圆曝光结果。DNS WS820L利用先进的高分辨率光刻技术,如电子束和偶极子照明,以及电子束扫描和图样绘制,从而显着改善了特征定义,并且覆盖相对较大。它有一个6轴溷合电子束单元，在非常大的曝光区域提供了很好的过程均匀性。溷合机还允许对剂量滑块等参数进行出色的即时管理，从而提高了工艺精度和重复性。该工具的增强功能还可以缩短曝光时间并提高生产率。该资产进一步提供了高等级的自动化capabilite，使得它适用于大小规模的晶圆曝光操作。它具有电动XY级驱动器、防光安全门、可编程自动级驱动器和自动WaferMover模型或手动XY级运动,以及手动晶圆处理选项。此外，它还配备了自动湿法加工站和处理单元，高分辨率边缘视觉设备，以及精确晶圆成像的高精度视觉系统。DAINIPPON WS 820L还提供了一个独特的晶片ID感测单元，它可以准确地读取和识别晶片，以防止交叉污染和多处理下倾斜操作。此外,该机还集成了一个用于精确基板处理的基于激光的触摸位置传感器、一个用于精确温度控制的温度控制器以及一个用于精确工艺参数和控制的定制控制器。而且，它与一系列湿化学物质兼容，包括KSC-77种光致抗蚀剂，并支持从2英寸到12英寸的各种晶圆尺寸。总体而言，湿式WS-820L是一种先进且用途广泛的半导体加工工具，可提供最高质量的晶圆曝光结果。它配备了一系列自动化功能，并与自动湿工艺和处理系统集成在一起，提供大小型晶圆曝光操作。此外，它还配备了晶圆ID传感资产和一系列其他高精度的过程控制组件，让用户实现精确和可重复的结果。