二手 DNS / DAINIPPON WS-820L #9401439 待售

DNS/DAINIPPON WS-820L湿站是半导体工业中各种湿工艺的高效、准确的解决方桉。该设备设计用于晶圆清洗、化学机械平面化（CMP）、晶圆表面研磨和其他湿工艺。该系统一次最多可处理8个晶片，并具有独特的三重喷嘴清洗站，提供一致和高精度的清洗结果。这使操作员无需任何人工干预即可轻松地在流程之间进行切换,从而显着提高吞吐量。该装置采用真空辅助洗涤作用，可提高清洗溶液的体积和均匀性。这有助于确保清除材料残留物，包括灰尘和颗粒，而不会损坏晶片表面或其下面的电子设备或材料。DNS WS820L还具有机械和化学机械抛光（CMP）功能,可用于平面化和晶圆表面研磨。机械抛光用于厚层的平面化，而CMP提供更均匀的表面光洁度和更高的吞吐量。机器还配备了温度和振动监测工具，有助于维护正确的处理环境。这有助于确保过程结果一致,并防止晶片表面受到任何损坏。该资产还设计为易于使用和维护,因为它具有简单的用户界面,几乎不需要维护。此外,DAINIPPON WS 820L还提供全面的参数设置和报告功能,使用户能够监控其流程并防止潜在的问题。总体而言，DAINIPPON WS-820L湿站是半导体工业中各种湿工艺的高效、准确的解决方桉。其三重喷嘴具有站台、机械和CMP抛光能力、温度和振动监测模型以及全面的参数设置和报告功能，非常适合广泛的应用。