二手 DNS / DAINIPPON WS-W625 #9115315 待售

DNS/DAINIPPON WS-W625 Wet Station是一个高性能的湿加工站,旨在以环保的方式提供精确、清洁和一致的基板处理。它具有先进的光学设计和专有的基板处理功能,能够通过减少晶圆废料和提高晶圆通量来实现有效的晶圆干燥。它配备了多个流程阶段，能够快速、可重复、可靠的运行。湿蚀刻过程由一个携带晶片的机器人组成，它将基板从一个阶段传输到下一个阶段。DNS WS-W625基板处理程序具有快速的加载和卸载周期,每小时可处理多达500个晶圆。它利用先进和高度可靠的三区控制流动系统在晶圆的整个高度上提供精确的均匀性。这个认真设计的系统使用沿喷嘴板z轴移动的喷嘴，以精确控制液体在非湍流中的色散。湿蚀过程分浸渍和处理两个阶段进行。在浸渍阶段，晶片同时浸入溷合蚀刻液体中，而处理阶段涉及将表面处理沉积到晶片上。这两个过程均由DAINIPPON WS-W625的板载控制器和软件套件管理,可帮助配置流程参数并自动执行整个操作,以确保每个步骤仅以最高精度执行。WS-W625还包括一个集成的、高交货、无冲洗的清洗站，以提供受控和一致的晶圆清洗。它采用节能设计,可降低运营成本。此外，其湿式自旋干燥模块还配备了定制的电机驱动腔室，可确保最高水平的自旋效率。湿蚀工艺可以通过深入编程和工艺优化包进行定制。这个用途广泛的湿加工站可以与其他设备和系统集成，形成完整的工作流程。总体而言,DNS/DAINIPPON WS-W625 Wet Station具有出色的功能集,可实现一致和准确的湿蚀加工。由于其先进的光学设计和专有的基板处理技术，这种湿式工作站适合可靠的操作，从而节省了成本，提高了晶圆的吞吐量。它是精密晶圆干燥和清洁应用在各种半导体制造过程中的理想选择。