二手 ENTEGRIS Box cleaner #293667203 待售

ENTEGRIS Box清洁器，又称湿式站，是一种用于半导体和光伏制造的自动化设备，用于执行一系列清洁操作。它能够提供一致的工艺结果,且清洁性能变化最小。盒式清洁器的主要目的是清洁半导体加工盒的内表面。ENTEGRIS盒式清洁剂由工作室、输送机和喷雾器组件组成。喷雾器组件与一个循环系统集成在一起，该系统由泵、一组循环管道和过滤器组件组成。喷雾器组件用于将清洁溶液喷洒到工艺箱内部的目标区域，输送机用于将工艺箱通过湿式站移动。当加工箱进入工作室时,将其放置在输送机上,使其处于正确的位置,以便进行Box清洁器操作。然后输送机将箱子搬过工作室。在此过程中,喷嘴将清洁溶液喷洒在盒子的目标表面上,再循环装置可确保溶液被重复使用并保持恒定温度。清洁过程完成后，升降机平台将箱子从输送机上移到干燥站上。盒子用压缩空气通过喷嘴干燥，这有助于去除盒子里的水分。使用ENTEGRIS Box清洁器,为存储在其中的零件和组件提供一致的清洁表面,有助于提高加工盒的清洁度和可靠性。再循环机还有助于减少清洁过程产生的废物，最终节省金钱和资源。这种自动化工具是一种高效的解决方桉，用于清洁半导体加工箱的内表面。