二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Aries #9384182 待售

FSI （TEL） FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ARIES是半导体工业中使用的一种湿式站。它是一种高效的工具，用于在制造过程中清洗、冲洗和蚀刻晶片。采用内置模块设计，这个湿式站最多可处理五个200 mm或四个300 mm晶圆，效率最高。FSI白羊座站主要由四个部分组成：加热淋浴单元、中央触摸控制器、清洁单元和蚀刻单元。加热淋浴单元由操作员触发的一系列气体射流组成。这些喷射器释放预先确定的清洁介质如去离子水、去离子醇或蚀刻剂的高压喷射器，以彻底清洁晶片表面。中央触摸控制器是一种平板显示器，允许操作员轻松、精确地控制加热淋浴单元、清洁单元和蚀刻单元。清洗装置是一个可扩展的容器，有一个旋转主轴，可容纳五个（200毫米）或四个（300毫米）晶圆，具体取决于型号。旋转速度、压力和pH水平可调，以适应工艺需要，清洁介质可以是蚀刻剂或去离子水。清洁单元中的晶片暴露在清洗介质的高压射流中，由外部容器安全收集。蚀刻单元是一种高压淋浴系统，用于蚀刻已经彻底清洗过的晶片。它的主要部件是一个发射蚀刻高压射流的淋浴头，一个将蚀刻剂吸入单元的文丘里系统，以及一个调节蚀刻时间的气流控制。蚀刻装置设计既方便用户又高效，使操作员能够有效、准确地蚀刻晶片。总之，TEL白羊座是一个用于清洁、冲洗和蚀刻晶片的湿式站。它由四个主要部件组成，共同努力以最大限度地提高效率和安全性，并且设计为易于使用和操作。这一湿站是半导体行业的重要工具，有助于使制造工艺更快、更准确。