二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan是一个湿式加工站，旨在满足半导体工业的要求。设计用于介电自旋、升空、蚀刻和沉积等应用。FSI麦哲伦能够加工大型基材，尺寸可达400 x 500 mm。TEL Magellan能够执行各种先进的光刻工艺，如高长宽比间隙填充、升空和粘贴控制。它具有精密的双轴光级，最大平移速度为0.5 μ m/sec，定位精度为1.5 nm。舞台可以支撑1英寸至8英寸的晶片，操控力高达1.5 N. Magellan配备了屡获殊荣的电子光束光刻设备，用于精确的定时控制。集成系统与多种可编程电源电极兼容，实现了精确的电压和电流组合。该单元能够提供最高分辨率高达5.5 μ m的高分辨率图像。TOKYO ELECTRON Magellan兼容多种不同的单晶片工艺化学物质，如水、有机、有毒。该站还配备了洗涤、蚀刻、沉积等各种自动湿化学工艺。集成自动化机器能够在精确控制的情况下运行高容量的过程。此外，该站还配备了综合安全环保设备。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan为最大的生产力而设计，并以快速周转方便无误处理。该站用户友好,安装方便快捷。该站还提供直观操作，具有配方管理和流程监控等多种特点。FSI Magellan受FSI 'Easy-to-Use'软件支持，该软件使用户能够开发自己的工艺配方和存储数据。TEL麦哲伦是一个多功能湿式站，能够提供从简单蚀刻到高度复杂的光刻的全方位工艺。它旨在支持高容量和高精度的应用,并可促进快速的生产周转。麦哲伦还提供用户友好的界面以及全面的安全和环境保护措施。