二手 GTX Wet bench #9384190 待售

GTX Wet bench
製造商
GTX
模型
Wet bench
ID: 9384190
Shield cleaning system.
GTX湿式工作台是为半导体晶圆加工而设计的湿式工作台。它是半导体制造业的核心部件之一,允许化学试剂的密封和安全输送。GTX湿式工作台的设计目的是尽量减少污染,促进不同类型电子材料的加工,以精确的方式进行必要的操作。GTX湿式工作台由几个关键部件组成。它通常分为三个独立的部分,分别有处理室:预处理室、处理室和后处理室。每个会议厅都设计用于执行特定操作。所有舱室都被密封和疏散,以减少湿站每段之间的环境污染。在预处理室内,任何需要预处理的晶片都会进行处理。这一过程涉及用清洁物质如氢氧化铵溶液处理晶片,以消除表面的有机和无机污染物。经过处理的晶片随后被移入工艺室。在工艺室中,可以根据手头任务的具体要求进行一系列的工艺。这包括分散过程、氧化过程、沉积过程或化学气相沉积。最后,在后处理室内,晶片经历了几次疏散和干燥步骤。这包括在清洁室内安全的环境中冷却和除湿室内。此过程完成后,晶圆准备好进入制造过程的下一步。湿式工作台设计具有较高的安全性和可靠性。所有加工室都有足够尺寸的安全门和不锈钢材料,以保证严格控制灰尘和异物颗粒。车门配有安全控制系统,自动控制盘柜内的循环时间和压力。还建立了一个中央监测系统,以确保操作员不会在指定的参数之上操作。综上所述,GTX湿式工作台是为提供不同类型电子材料的必要加工而设计的湿式工作台。它具有最前沿的安全性和可靠性,具有用于预处理、处理和后处理的独立腔室。有了正确的知识和维护,Wet bench可以提供一种高效、精确的晶片和其他电子材料处理手段。
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