二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095949 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一个通用的湿加工模块，专门设计用于半导体器件制造的蚀刻、清洁和涂层操作。这座可通过数字设备接口（DSI）进行控制的多合一湿站提供了对各种工艺参数的精确控制，如温度、压力、流量和化学品。其内置功能还减少了由于监控不足而产生错误的可能性。LAM RESEARCH湿式站装有超锐利的2D扫描仪，可以检查工件的整个表面，并对加工质量提供准确的反馈。该站还配有喷射系统，可用于精确定位喷嘴以执行高分辨率图样。还提供了先进的冷却装置，以确保在蚀刻过程中均匀冷却。这种冷却机可以高度精确，允许用数字精度进行温度调整。LAM RESEARCH湿式站还配有一个设计独特的再循环工具，确保过程液体在整个站内高效循环。此流通资产有助于确保整个工作面的处理一致性,消除手动处理中常见的热点和其他不一致之处。再循环过程还减少了水和化学物质的使用，节省了时间和金钱。此外，LAM RESEARCH湿站采用先进的化学输送模式，设计用于在蚀刻过程中精确溷合化学物质，确保均匀性和完全一致性。最后，该站还配有一个集成的清洁设备，在蚀刻过程开始前自动擦洗掉工件表面的任何污染物。总体而言，DV-38DS湿站是半导体器件制造中用于蚀刻、清洁和涂层操作的可靠、高效的通用处理模块。由于其精确的监控能力，其先进的功能提供了增强的过程控制和提高的安全性。再者，其节省成本的内置特性，如再循环系统、化学输送单元、集成清洁机，使其成为半导体加工的绝佳选择。