二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095950 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一个用于半导体器件制造的湿式加工站.它能够为各种设备基板开发、蚀刻、制图和清洁过程等多步骤过程。该站由一个主单元、一个炮塔和几个不同的工艺模块组成。车站的主体单元是容纳电气部件、泵和加工流体的大型铝制外壳。转塔是站台顶部的单个旋转头，最多可容纳八个晶圆盒式磁带进行多步处理。不同的工艺模块包括湿蚀刻模块、自旋冲洗模块和干燥模块。湿蚀刻模块包含一个蚀刻罐--一个容纳蚀刻剂并将其传送到晶片的大腔室。这种蚀刻剂可以是单组分（例如硝酸、硫酸或盐酸）或多组分（例如HF-IPA）溶液；室内不断用新鲜化学品冲洗，保持蚀刻环境清洁，防止污染物堆积。自旋冲洗模块包含冲洗罐-两个大罐，其中包含工艺流体和供应清洁冲洗水的晶片。这种清洁的冲洗水需要去除蚀刻过程中的残留物，可以是DI水，也可以是原位冲洗溶液，以更好的清洁。最后，该站还包含一个干燥模块，利用热空气或氮气在晶片卸载前快速干燥。这一点很重要，因为任何残留蚀刻剂或冲洗液都可能具有腐蚀性，并导致装置发生故障。DV-38DS是一个高度可靠的湿式加工站，便于制造高质量的半导体器件。它旨在提供对单个流程步骤的精确控制,其模块化流程模块使其易于针对不同的应用程序进行定制。此外，该站与LAM LEVEL-1配方语言兼容，可以精确控制加工配方的编程。总体而言，LAM RESEARCH DV-38DS是任何半导体制造实验室的绝佳湿站。