二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095951 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一个结合了高容量化学品输送和分配以及真空卡盘的湿式站。这款高端设备旨在简化和简化领先半导体制造商的湿工艺需求。整体式盒式磁带包含一个集成的化学品输送系统，使用户可以将指定数量的化学品和废水直接输送到加工室内进行湿蚀刻和沉积应用。直观的用户界面使操作员能够控制化学品流向和输送到加工室。这使用户能够在湿蚀刻和沉积过程中达到最佳性能。DV-38DS配备了坚固的真空气闸卡盘。这项功能使用户能够在真空环境中处理晶片，同时仍然可以进入真空室。这样就可以更好地控制加工参数，从而提高产量和改进工艺性能。此外，卡盘允许晶片的快速重新加载，而不会影响腔室环境的完整性。主真空室和加工室之间的气闸，使用户可以在两者之间轻松移动晶片。LAM RESEARCH DV-38DS还配备了一个低成本和易于使用的温度控制单元。此功能使用户能够轻松地管理室内温度,确保每个过程的最佳性能。此外，该机器支持室内的低静止气体压力，减少了对额外维护或额外供气设备的需求。总体而言，DV-38DS是一个高度通用的湿式工作站，它将高级晶圆处理所需的所有功能结合到一个工具中。它提供了广泛的能力，从化学品输送到温度和真空控制，同时仍然易于使用和具有成本效益。该资产旨在满足领先半导体制造商的需求，使他们能够实现性能最大化并保证高收益率。