二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095952 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一个湿式站，设计用于半导体工业中进行基于晶圆的工艺。它基于LAM RESEARCH开发的"动态蒸气设备"（DVS）技术,为当今的小型和先进半导体应用提供无与伦比的性能。DV-38DS由一个由耐腐蚀不锈钢制成的主加工室组成。它装有重型部件，如隔膜泵、阀门和喷雾器，使其极其可靠，并提供最大精度。主室内部有两个独立的汽化器，用于优化载气流动。精确的石英窗口允许集成车载计量装置。该站还包括一个集成的空气提升系统，以增强腔内搅拌，提高均匀性。主室进一步配备了高性能冷却单元，保证了精确的温度控制，传递出超平滑的再现性。该机还具有湿度控制功能，这对于有效的沉积过程至关重要，并确保所需的过程结果。它带有互锁的双区域安全外壳确保了安全性和可靠性。LAM RESEARCH DV-38DS还包括一个功能强大且可靠的控制工具,具有先进的自动化技术.此资产允许复杂的配方编程以及易于的流程监控,并使用户能够同时控制众多流程参数。此外，集成触摸屏提供了一个不言自明的用户界面。此外，先进的液体管理模式允许灵活和经济高效的液体处理。它包括单室和双室应用，提供压力和排水控制。该设备还拥有快速转换过程，以确保相似或不同过程之间的平稳过渡。总体而言，DV-38DS是广泛的基于晶圆的应用的绝佳选择。它可靠、高效、易于使用,是精确度要求严格的小规模工艺的理想选择。