二手 LEYBOLD HERAEUS D16B #9355959 待售

LEYBOLD HERAEUS D16B湿站是为半导体和微电子应用而设计的先进、高性能的固定式蚀刻设备。它能够在高蚀刻速率下精确地蚀刻微观结构。该系统具有一系列功能,包括：高级流程监控、自动调整、批处理、用户定义的蚀刻配方和流程历史记录。LEYBOLD HERAEUS D1,6B的可靠、高容量的泵使蚀刻溶液的处理速度达到每小时450升。该装置能够处理各种蚀刻化学物质，包括溶剂、MA蚀刻和氨基溶液。高效抽水机还能确保快速可靠的物料释放，避免需要破水槽。该工具配备了先进的监控模块，确保对蚀刻参数的精确控制。它提供自动调谐（AT, AT）,根据所处理的材料调整蚀刻速度和参数,以维持可预测的蚀刻过程。它还具有增强的流程日志记录资产,用于记录每个蚀刻配方的蚀刻结果和参数。所有处理实例都可以存储在模型日志中,用于检查每个蚀刻晶片的参数和获取历史信息。设备还提供批量处理能力；可以将蚀刻作业输入D1.6B,系统将在一个预设批中自动处理每个作业。这有助于节省时间并保持高流程可重复性。此外,D16B湿式站设计具有较高的可靠性和安全性.该站的部件经过IP44认证，并安装了各种安全功能，以防止操作不正确和危险的化学品释放。该站包括处理突发事件的各种警报和警告信号。总之，D1,6B湿法站是一种先进的蚀刻装置，能够产生高质量的精密微观结构，具有良好的工艺重复性。它的一系列特点，包括过程控制、自动调谐、批处理、日志存储，使其适合各种半导体和微电子应用。