二手 OHSUNG LST Aqua regia / MO #9392184 待售

OHSUNG LST Aqua regia/MO是OHSUNG LST Corporation生产的一个湿式站，设计用于加工晶圆基板。采用电解方法，湿式站对晶片表面进行清洁蚀刻，为后续生产过程做好准备。这个湿式工作站特别适合于内存存储设备的生产，因为它能够在不应用掩码的情况下处理晶片，从而避免了额外制造步骤的需要。湿站由两个主要模块组成，第一个模块包含酸蚀室和电解质处理部分。酸蚀室用于清洁晶片表面，然后使用王水（一种极强的盐酸和硝酸的溷合物）蚀刻底物。电解质处理部分用于晶圆表面的电化学处理，如电镀和电化学蚀刻。第二个模块是含有电解质溶液的溷合容器，用于控制溶液中不同化学物质的浓度。该模块具有保证温度精确控制的精确温度控制器，是电解质处理的主要参数之一。湿式电站利用工业级电源为两个腔室供电，从而实现了各种工艺参数的运行。该工作站使用控制系统运行，该系统使用户能够对一系列过程变量进行编程，如温度、电压和电流。湿站还结合了一套全面的安全功能，旨在保护操作员和环境。其中包括在超出限制时自动关闭过程的安全关闭系统和消除有毒和腐蚀性蒸气排放的通风罩。Aqua regia/MO是一个先进的湿法加工站，其设计目的是在晶圆基板加工方面提供优异的效果。其精确的温度和电压控制、全面的安全特性以及先进的过程控制系统，使其成为生产内存存储设备的理想选择。