二手 RENA Wetbench #9097152 待售

RENA Wetbench是一个湿式加工站,旨在以高效、安全的方式执行各种湿式加工任务。其主要功能包括光阻灰化、光阻条带、光阻显影、蚀刻、电镀和冲洗/干燥。该设备利用先进技术提供最佳结果，同时独立控制每个模块并提供完整的流程可追踪性。Wetbench由一个不锈钢底座、一个电动工具站、一个浅水槽、一个处置系统、水泵、一个真空过滤单元、一个化学回收器和一个化学再分配器组成。底座由安装在高度可调不锈钢框架上的模块化块支撑的不锈钢板组成。工具站可以容纳各种各样的工具，并提供了一种方便的工具变更方式。浅水槽内装有去离子水，提供安全高效的化学围堵。处置机器确保收集和安全处置废旧化学品。在光致抗蚀剂灰化模块中，高速火焰被用来作为来自基板的光致抗蚀剂，以确保高效和清洁的过程。光致抗蚀剂条带模块的建立是为了提供快速和可靠的去除光致抗蚀剂.光刻胶开发模块可用于正负光刻胶工艺。它配有一个内置的淋浴头，提供均匀分布的化学品，以实现统一开发和增加吞吐量。蚀刻模块提供了对底物的精确蚀刻,并有多种化学选择.其可调的循环时间设置和先进的温度控制系统保证了高质量的结果。电镀模块提供了一系列易于使用的金银镍钯电镀工艺。其先进的软件为定制规格和优化电镀结果提供了灵活性。冲洗/干燥模块利用高速空气射流对基材进行高效的水冲洗和干燥。其高效和可重复的过程有助于提高效率并确保无缺陷的性能。真空过滤模块采用真空泵和预过滤器，用于在循环利用前过滤冲洗水。Chemical Recycler专为方便和安全的化学储存和回收而设计。它具有堆迭工具,可最大限度地提高存储容量并减少处理大型鼓的需求。最后，化学再分配器连接到回收器，并提供方便地访问在RENA Wetbench使用的所有化学。总体而言，Wetbench是一个强大而高效的湿加工站。其先进的模块化设计支持各种工艺化学方法，使每个步骤都具有可追踪性。其集成的水泵、过滤器和化学回收器提供了改进的过程控制和灵活性。因此,RENA Wetbench非常适合广泛的研究和商业过程,例如半导体器件制造、医学技术研究和MEMS元件制造。