二手 SEMITOOL SST-D-632-280K #9144821 待售

SEMITOOL SST-D-632-280K是设计用于半导体工业的湿式站。它能够处理多达6 "x 3"和280K晶片的多个基板。它是一种超高密湿法加工设备，能够执行清洁、蚀刻、电镀等多种工艺。它具有多步骤功能,非常适合用于大型制造过程。SST-D-632-280K具有高精度旋转洗涤室,由高扭矩电动机提供动力。这允许对搅拌和工艺参数进行精确控制。腔室能够进行温度控制，允许精确的温度均匀性和过程均匀性。腔室还具有100 psig的最大压力额定值，允许增强均匀性和高精度工艺。SEMITOOL SST-D-632-280K设计有一个特大型浆液罐，可以在需要重新填充之前加工更多的晶圆。储罐由高抗性材料构成，使其能够承受操作中使用的酸性和碱性溶液。坦克还配备了一个单独的排水管，允许在不影响其他部件的情况下轻松排水坦克。SST-D-632-280K具有双激光细胞成像系统，允许实时成像来验证晶圆条件。该成像装置能够检测和测量晶圆缺陷到0.25微米。这样可以更好地检测缺陷并提高其准确性。SEMITOOL SST-D-632-280K还具有非常低调的设计，使其能够适应更紧密的空间。这种低调的设计也减少了水箱内溶液的湍流，允许更高的精度和可重复的过程。此外，SST-D-632-280K还使用了一些独立的、可清洁的工艺罐，以便根据需要快速方便地清洗。SEMITOOL SST-D-632-280K配备了先进的控制系统，允许根据需要调整各种工艺参数和配方。这包括跳跃、温度、速度和压力设置。控制机器还连接到数据记录工具，以便对任何给定时间执行的所有进程进行精确和全面的审查。总之，SST-D-632-280K是一个高精度的湿式站，设计具有先进的特点和能力，用于半导体工业。其旋转室、超大型浆液罐、双激光蜂窝成像资产、独立工艺罐以及先进的控制系统使其成为大型制造工艺的理想选择。