二手 SES BW3000 #9257034 待售
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ID: 9257034
晶圆大小: 12"
Wet station, 12"
F-Type
(50) Wafers
Bath configuration:
L/D, L/R, C/W, HS1, HS2, HQDR1, HQDR2, SC1 (1), HQDR3, SC1 (2) RMMDs, UL/D.
SES BW3000是一个最先进的湿式工作站,旨在为自动洁净室湿式工艺提供强大而高效的支持。它为关键的清洁应用程序提供了准确、可重复和经济高效的解决方桉。该装置对温度、冲洗水流量、水压和洗涤剂浓度提供高度精确的控制,以确保适当管理工具清洗过程的每个过程步骤。该装置有四个清洁步骤,如冲洗前、洗涤剂清洗、最后冲洗和热空气干燥。该设备是为在额定等级为1级(ISO 5)的清洁室中进行最佳操作而设计的,可与中央过程控制器连接,以远程控制和监测湿站的状况。该站配有一个集成的安全系统,用于监控设备参数,如温度和压力,以防止任何不希望的加热或缩放可能损坏机器零件。可以将计算机设置为以自动停止模式运行,以确保在发生意外断电或电涌时停止进程。随附的报警工具可用于在发生任何故障或警告时向用户发出警报。该站设计方便安全使用,界面简单。该站的软管和喷嘴设计具有防静电和防腐蚀功能,确保清洁过程不受污染或腐蚀。前面板可方便监控所有相关参数,包括水温和流量、压力、洗涤剂比、循环时间和循环计数。此外,为了方便用户,资产可以存储有关最近十个周期的数据。SES BW 3000是一种可靠、高效的自动洁净室湿法管理工具.该装置是为耐用和长寿而设计的,其功能为用户提供了提高的准确性和他们的过程的重复性。此外,该机组的安全系统和简单的接口保证了湿站的安全高效运行。
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