二手 SES PEGASUS #168066 待售
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ID: 168066
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Wet station, 8"
(5) Chemical baths
Process: Solvent Strip Station
(2) KOMATSU Hot DIW heater units
Bath configuration:
1 / CC
2 / BOE
3 / EDR
4 / H3PO4
5 / H3PO4
6 / H3PO4
7 / HQDR
8 / SC-1
9 / HQDR
10 / FR
11 / IP DRYER
Includes:
LD Module
BOE Module
HP Module
SC-1 Module
FR, Dryer module
LD Front conveyor
ULD Front conveyor
Vapor dryer (IPA)
Sonic generator, SC-1 con unit
Rear monitor rack (maintenance PC) and operation manual
(5) Boxes with parts
IPA Scrubber
(5) Back conveyors
LD Electric box
HP Heater electric box (in-line heater)
Main electric box
ULD electric box
Computer rack
(2) KOMATSU Hot DI units
(2) Pipe ducts
HP (H3PO4) Pump (HP circulation unit)
(5) Boxes of parts:
Drain tank
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Bath, dryer cover, F/R wafer guider
F/R Bath
HQDR Bath
IPA Dryer bath
H3PO4 Temp, SC-1 temp cover, ARM chuck, HQDR wafer guider, HQDR bubbler
(3) H3PO4 Baths, HQD bubbler, HQDR wafer guider
QDR Bath
SC-1 Bath, SC-1 wafer guider
H3PO4 (1, 2, 3) Bath cover, SC-1 bath cover
(2) HQDR Baths, (2) ARM chucks, dryer cover
(2) H3PO4 Baths, (3) ARM chucks, F/R plate
QDR Wafer guider, H3PO4 (1, 2, 3) wafer guider
Operation manual
1997 vintage.
SES PEGASUS是一个湿站，设计用于在长期海洋研究期间监测和维持海面浮力和温度。它能够收集数据，以增进我们对洋流和气候变化影响的了解。该站由一个钢架组成，连接到两个可以充满海水的浮力室以锚定该站。此外，该站还包括一系列测量各种参数的仪器，如气压、湿度、风速/方向和海面温度。可以连接一系列泵和阀门，用于波数据收集和波能转换。该站还配备了多种传感器，用于测量温度、盐度、氧气、pH、荧光和浊度。这些数据对于了解潮湿站点周围的海洋学条件是非常宝贵的。这些测量结果使气象站能够代表它正在监测的海洋学研究作出实时决定和优化。飞马采用耐腐蚀材料和刚性结构完整性建造，以确保能够承受恶劣的海况，并定期维护仪器的完整性。该站的设计使其能够在与电源断开连接时保持浮力，以确保飓风强度风暴期间的安全和完整性。SES PEGASUS可以连接到陆上电源进行短期操作，允许及时的数据检索和站点维护。这一点尤为重要，因为该站可以实时传输传感器数据，可以更有效地分析收集到的数据，更快速地做出决策。这进一步提高了数据收集的准确性和工作站的效用。该站还配备了环境处理系统（EHS），以减少原本可以到达环境的污染物。该系统允许PEGASUS在提供必要的数据收集和仪器的同时，最大限度地减少该站对环境的影响。综上所述，SES PEGASUS是一个健壮可靠的湿式站，能够收集各种海洋数据，具有耐腐蚀性、结构完整性、储能和EHS管理等特点。该站可为各种研究提供好处，使人们更好地了解海洋和气候变化。
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