二手 SINGULUS / STANGL Isotex 3000-D #293760570 待售
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SINGULUS/STANGL Isotex 3000-D是一个最先进的湿式加工站,设计用于半导体、光电子和显示器行业使用的基板的精密清洁和表面处理。这个先进的湿站提供了高度的自动化、过程控制和灵活性,以满足现代制造过程的严格要求。STANGL Isotex 3000-D采用模块化设计,允许定制配置以适应各种处理步骤,如清洁、蚀刻、冲洗和干燥。该站设有多个工艺罐,各专用于特定的化学处理或清洁步骤。这些储罐由不锈钢或聚丙烯等耐腐蚀材料制成,以确保与广泛的工艺化学体系相容。该站由精密的软件系统控制,能够精确控制温度、流量、浸入时间和搅拌速度等关键过程参数。软件还提供配方管理功能,允许用户存储和召回预定义的流程配方,以实现可重复的结果和流程优化。SINGULUS Isotex 3000-D配备了先进的监控系统,以确保流程的可重复性和一致性。对化学浓度、pH值和电导率等工艺参数的实时监测使得能够立即进行调整,以保持最佳工艺条件。该站还设有安全联锁和警报器,防止过程偏差,确保操作员安全。湿式站设计为提供高水平的清洁和颗粒控制,以满足洁净室环境的严格要求。先进的过滤系统被集成到站内,以清除污染物并确保加工化学品的纯度。此外,该站设有层流长凳、HEPA过滤器、化学烟雾洗涤器等特点,在加工过程中保持受控环境。Isotex 3000-D提供了一系列工艺选项,以适应不同的基材尺寸、材料和工艺要求。该站同时支持批处理和单晶片处理模式,允许高吞吐量和生产工作流程的灵活性。超音速清洗、刷洗、喷雾清洗等各种工艺模块可以集成到站内,以应对特定的清洁挑战。总体而言,SINGULUS/STANGL Isotex 3000-D湿加工站为高科技行业的精密清洁和表面处理应用设定了新的标准。STANGL Isotex 3000-D具有先进的自动化、过程控制和灵活性,是制造商寻求可靠、高效的湿加工能力以提高产品质量和性能的理想解决方桉。
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