二手 STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165 待售

AST（SMAST）自动湿处理（STEAG/MATTSON/AST AWP）站是一个先进的、高容量的湿处理站，设计用于半导体封装和晶圆组装过程的自动化操作。SMAST AST AWP Station是一个完整的模块化湿处理平台,旨在减少人为干预,同时始终以最佳产量提供流程周期。SMAST STEAG AWP站包括三个核心功能，共同提供站内的自动化反应环境：晶圆和零件处理、化学加工和后处理操作。化学加工平台位于中心位置，模块化，允许根据特定客户需求定制加工周期。这种灵活的设计消除了不必要的模块,减少了总体占用空间和成本。SMAST AWP站还具有自动晶圆处理和自动存储及检索系统。自动化搬运设备利用机械臂在不同工艺阶段之间运输晶片和零件，同时提供与污染物完全物理隔离。储存和回收系统将晶圆和零件库存保持在最佳水平，并设计为自动向加工室填充必要的化学品和溶剂。该站还包括四个主要工艺罐：一个冲洗罐、一个酸洗罐、一个干燥罐和一个密封罐。在储罐内部，采用了STEAG Technology公司先进的多喷头装置，在整个化学过程中提供尽可能高的均匀性。该工作站有一个连接到个人计算机的集成流程控制器，用于完整的流程定制和配方文档。SMAST MATTSON AWP站允许广泛的工艺化学和能力,并允许认证和未认证的化学品。方便用户的软件平台旨在监测进程的进展情况，并查明任何潜在的化学或温度差异，以便对进程进行实时纠正和改进。SMAST STEAG/MATTSON/AST AWP站设有四个清洁系统：液体清洁机、干氮级联清洁工具、干氧级联清洁资产和超声波清洗循环。这种广泛的清洁解决方桉可确保产品的最高基线质量,同时满足所有安全、环境和工业规范。最后,SMAST AST AWP Station具备先进的环境保护功能,如先进的通风、通风罩、带ESD的安全门和自动隔离。这些保障措施旨在最大限度地提高操作效率，同时保护人员和利用该站的环境。