二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius-i #293821711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i是一个湿式站，旨在提供先进的湿法处理能力和灵活性。该设备具有高度可配置的开放式体系结构,使用户能够轻松快速地适应不断变化的湿工艺应用程序要求。TEL Expedius-i能够处理多种工艺，包括浸入式、喷雾式、抗性条和种子涂层。该系统的设计可以容纳广泛的基材，包括晶圆、圆盘基材，以及其他直径可达16英寸的形状。"该单元还支持各种流程要求，从低温到高温流程，从简单到复杂流程，从标准到高级流程。TOKYO ELECTRON Expedius-i包括一台先进的原位过程监测机，使用户能够准确准确地监控过程的进展。这种原位过程监测工具包括各种传感器，如pH、离子检测和呼吸测量传感器，以及先进的8通道热电偶和湿度感测资产等确保精确温度和湿度控制的功能。Expedius-i具有一套全面的过程控制软件,可为用户提供最大的灵活性和对湿过程的控制。这个过程控制软件包括一个直观的图形用户界面，允许用户配置、监视和控制模型的各种功能。该软件还包括一套全面的预定义流程配方，使用户能够以最小的努力快速、轻松地周转流程。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i旨在满足研究和生产应用的需求。它的模块化设计和高级功能得到了一整套配件的支持，包括自动卡带处理、预冲洗罐、旋转和冲洗配件以及各种其他选项。TEL Expedius-i是一个强大高效的湿式站，旨在满足现代湿式工艺应用的需求。其先进的功能集、坚固的设计和全面的附件集使其成为实现最高级别工艺性能和效率的理想选择。