二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293586639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个模块化湿式站，专为半导体晶片製造商而设计，提供多种功能，可有效处理晶圆。它具有多种安全特性,易于操作、维护和技术支持。设备包括转移模块、主机、环境室和基板加热模块。传输模块是系统的主要组成部分，用于在环境室和主机之间传输晶圆。它包括自动晶片对准和调平机构，视觉单元，真空卡盘和高分辨率相机。传输模块有一个集成的视觉机器，允许用户对齐和检测晶片中的任何缺陷。视觉工具中使用的相机可以区分晶圆上的暗区和明区，检测任何机械缺陷。真空卡盘用于将晶片牢固地固定在适当的位置，对准机制允许用户精确调整晶片位置。TEL Expedius的主机有几个组件,可以精确控制流程工具。这些组件包括视觉资产、液体输送模型、介电输送设备、控制器板和摇动组件。视觉系统用于精确控制过程工具。它能够检测任何过程不规范或异常,并向控制器提供实时反馈。液体输送装置负责湿法过程中液体的均匀沉积。它也用于在过程运行过程中供应和储存不同类型的液体。介电输送机用于输送氧气、氯气和硫等气态物质。控制器板用于控制过程运行过程中电压、电流和温度的应用。最后,使用摇动组件在不同的加工工具之间传输晶片。工具的环境腔用于控制和维护过程运行过程中晶片的特性。可加热或冷却，温度可在摄氏1-35度范围内调节。腔室的湿度也可以调节，可以用来储存多种不同的材料。TOKYO ELECTRON Expedius的底物加热模组在製程运行时用来快速加热底物。它还具有温度控制资产，可调节摄氏10-1000度范围内的温度。此模块的另一个关键特点是能够在很短的时间内快速加热和冷却。Expedius是一个可靠的湿式站，具有为半导体芯片制造商设计的一系列功能。它的特点使制造商能够以最小的努力和改进的产品质量进行高效和准确的湿工艺。该模型的模块化设计和自动化工艺工具为用户提供了解决芯片制造需求的有效解决方桉。