二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293594359 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是专门为半导体製造的化学製程而设计的湿式站。这个湿式站设有一个浸入式热蚀炉、浴室控制器和蚀刻气体分配面板，使其能够进行湿蚀刻、灰化和剥离过程。热蚀炉的设计是安全蚀刻基板与一系列腐蚀性化学品。采用高低温操作，采用催化五区反应室温度控制自动调节温度。催化五区反应室是不同气体含量在蚀刻室中控制和快速变化的理想选择，能够达到五个阶段的蚀刻速率控制。浴室控制器是一种用户友好的自动化控制器，使蚀刻室中的操作只需最少的人工干预即可进行，同时也能保护热蚀刻炉免受热和氧气缺陷的影响。浴室控制器具有快速反应浴池，最多可储存115种食谱，其安全的物料处理机制保证了产品的最高质量和安全。湿式站内集成的蚀刻气体分配面板可以高效、安全地输送高纯度稀有气体。它具有多个气体控制阀，可以同时处理液体和蒸气输送。气体输送流的设计在快速吸收蚀刻反应和最小化热应力之间达到平衡。该面板还具有自动容器排气和泄漏测试功能，可确保安全处理气体。TEL Expedius+wet station有一个直观的用户界面，确保操作和监控方便。它允许用户查看警报和操作状态，具有用户友好的图形显示和广泛的传感器输入信号。它还支持数据管理和CMMS（计算机维护管理系统）同步,为所有流程提供了简单的可追踪性。总体而言，TOKYO ELECTRON Expedius+湿站提供可靠高效的化学处理能力。凭借坚固、用户友好的设计，适用于工业半导体制造等高精度化工工艺。
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