二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629288 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个潮湿的製程站，可以在包括硅片、晶片和其他薄膜材料在内的多种材料上进行高效、大规模的切割和稀释工艺。它是一种自动化工具，具有极低成本的制造工艺，并提供可靠的半导体制造操作。TEL Expedius由两个基本部件组成，包括湿处理罐和用于过程自动化的机器人。设备的核心是一个加压原料转移罐，设计用于安全和安全地转移液体和固体加工材料。机器人单元由两个机器人臂组成，一个用于将晶片装载到工作站上，另一个用于控制机器人臂、压力、运动和过程的流动。该系统有一个高级控制单元，使用户能够自定义和精细调整进程参数。这台名为TOKYO ELECTRON Expedius profile的机器建立在过程参数的三维表示之上。使用此工具,用户可以提高过程的中心性,而无需投入额外的材料或人工成本。除了高效的运营外，Expedius还配备了一系列安全特性和先进技术。坦克装有安全门，机器人手臂包括一个机器人传感器，可以检测任何用户定义的危险情况。此外,内置的自动流程监视和数据记录资产旨在在发生事件时向操作员提供可靠的流程历史记录和警报。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个全面的湿法加工模型，彻底改变了薄膜工艺在半导体行业中是如何进行的。自动化坦克和机器人手臂的结合，以及其先进的安全功能，使得可靠和经济高效的操作。此外，所包括的配置文件设备能够在人工干预最少的情况下对流程参数进行高级定制。