二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个为了先进的半导体处理而设计的湿站。它为各种应用程序提供了一系列流程。其先进的特点包括：使用惰性气体的高速、高精度加工、液态化学品和大气化学剂。能够处理各种大小的晶片,从小到大.多个进程模块可同时执行不同的进程。可以精确控制的过程，包括流量、温度和反应持续时间。与多种类型的仪器和过程控制器的兼容性。自动化功能可简化和加快处理速度。强大的图形用户界面,允许用户实时监视和控制流程。TEL Expedius包括几个对系统运行很重要的组件。首先是中央处理单元（CPU），提供控制软件和控制系统与不同过程模块之间的通信。第二个是液体处理程序，它是处理过程中使用的液体化学品流动和分散的系统。第三个是基板处理程序，它控制基板载波上晶片的加载、卸载和对准。最后，第四个是Process Controllers，负责控制参数，如流量、温度和其他预暴露参数。TOKYO ELECTRON Expedius设计用于使用多种化学剂对晶片进行高精度处理。它还支持许多不同类型的仪器和工艺控制器，允许在工艺设计上有很大的灵活性。自动化功能还提高了处理效率。图形用户界面使监控和控制过程变得容易，并允许用户随时启动、停止和暂停处理。它还允许用户对不同的进程序列进行编程，并在它们之间快速切换。Expedius是先进半导体加工的绝佳选择。