二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629295 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个在工业环境下清洗、剥离、蚀刻、干燥和完成晶片的湿站。湿站设有最先进的微处理工具站内室，被称为工艺罐。该工艺罐由一系列相互连接的隔间组成，每个隔间设计为执行特定的功能。湿式站还配备了一系列配套夹具和公用事业，如湿式加工站、自旋冲洗干燥机（SRD）、溶液温度温度等等。湿站的工艺罐采用模块化方式设计，使其能够根据特定的操作要求量身定制。该工艺罐配有多个安全阀，设计用于关闭舱室，防止危险或危险物质进入车站。该工艺罐符合ISO 9001规定，包括外部压力吹扫、自动化化学管理设备、排气系统等安全特性。湿加工站是湿站内的关键设备之一。这为晶片提供了超高速、超清洁的加工,使其成为快速清洁、剥离、蚀刻、干燥和精加工各种晶片的理想工具。这个湿加工站是非常可靠的，利用一个完全自动化的单元，具有温度，时间和压力控制，以及先进的化学溶液管理机器。自旋漂洗干燥机（SRD）.它以自动化的方式快速干燥晶片,使用户能够快速进入下一阶段,而不必担心干燥过程导致的等待时间。SRD能够以令人难以置信的高效方式干燥晶片,显着降低能耗。SRD的精确度令人难以置信，具有高精度测量温度、压力和溶液浓度的能力。溶液温度温度（STT）也是湿站的关键部分。这个单元精确监视和控制工艺罐内任何溶液的温度，确保它对于特定工艺永远不会太高或太低。STT还确保温度在整个过程中保持恒定,这意味着晶片可以持续工作,从而实现可预测和可重复的结果。最后，湿站还配备了一系列额外的公用设施和固定装置，如油箱盖、盖升降机、液位监测仪、喷头、油箱排气工具、废物处理资产、油箱堵塞检测模型、吸气系统和空气再循环系统。这些都为加工罐提供了最佳的支持，确保了可靠性和安全性。综上所述，TEL Expedius是一个湿式站，在工业环境中具有出色的清洁、剥离、蚀刻、干燥和精加工的能力。这个湿式站配备了质量最高的部件和系统，包括一个工艺罐、湿式加工站、自旋冲洗烘干机、溶液温度以及一系列额外的夹具和公用事业。这个湿站非常可靠和高效，使用户能够在很短的时间内完成流程。