二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633732 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个湿式站，设计用于自动清洗、加工、化学过程控制和晶圆通量控制。这项创新技术具有一系列功能,包括用户友好的操作、高速处理和先进的过程控制功能。TEL Expedius利用Auto-CAD（计算机辅助设计）设备为各种处理应用程序设计自定义配置。该系统允许为不同的进程设置具有多种配置的湿式工作站。这允许更高效的处理注入,用户可以在其中设置不同的参数,以适应在湿站上运行的过程。TOKYO ELECTRON Expedius能够同时处理溶液，能够一次运行多个进程。这项功能使用户能够比传统的湿式站更快地进行晶圆清洗和其他处理操作。此外,该单元还包括过程监视和控制功能。它可以监测湿站所有部件的温度、流量、压力和其他参数。此功能与软件提供的自动化过程控制相结合,使用户能够轻松准确地控制处理环境。权宜之计对所有化学物质采用全自动工艺，包括酸、碱、有机溶剂和晶圆清洗工艺中的催化剂，以进行蚀刻/吸收后洗涤。这种自动化使得机器明显快于手动系统，并消除了用户出错的可能性。此外,该工具还使用传感器和控制器来确保过程中的准确性和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius的设计考虑了环境因素。这个湿站配备了一个排气资产，可以清除加工过程中产生的任何危险或有毒的烟雾和颗粒。该模型还包括一个排水设备，确保所有液体废物安全处置，同时仍然保护环境。总的来说，TEL Expedius是一个可靠高效的湿式站。它促进高精度、快速操作和自动化过程控制。利用这一湿站，用户可以大大减少加工时间和人工成本，同时创造出尽可能高质量的产品。