二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633733 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是设计用于半导体器件制造程序的湿式站。它是湿法加工和光刻工具的理想组合，导致工艺吞吐量最高，产量和可靠性提高，质量最高。该站由一个自旋处理器、一个复杂的离子植入器和一个蒸汽输送系统组成。自旋处理器允许多达20个自动自旋涂层站,以提供均匀的层沉积。离子植入器以高能沉积离子，以控制每个聚焦束中的电荷。蒸气输送系统允许更高的气体流速，这对于有效地进行CVD、PVD和蚀刻应用非常重要。TEL Expedius还提供前沿技术，在站内创造最佳的微型环境。具有集成计算机控制的主动冷却的真空室有助于防止大气水分污染。臭氧破坏系统和化学陷阱可防止臭氧进入工件。一个具有可编程温度和湿度控制的工艺室保持最一致的化学环境，在其中进行成功的湿过程。该站还配有先进的故障检测和自动关闭功能，以提高安全性。故障检测特别有助于识别过程参数的任何变化,并消除此类变化造成的过程缺陷。自动关闭可减少清理泄漏或其他事故所花费的时间。TOKYO ELECTRON Expedius也允许其使用者根据自己的需求自订车站。它的模块化性质允许添加或删除某些组件,以便用户能够准确地符合其工艺参数。该站还可以与其他半自动或自动化系统（如负载端口）集成，从而更容易转移和监控晶圆、轨道或其他基板。总体而言,Expedius通过简化和自动化繁琐的湿流程来提高效率并提高产量。它允许用户根据自己的需要定制工作站，并与其他系统集成以增加工作流。此外,高级安全功能还确保对过程进行监控和无故障,从而实现不间断的生产。