二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633734 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个湿式站，旨在提供处理和处理半导体晶片的效率和精度。湿站确保了干燥和超清洁的环境，允许最准确和可靠的半导体处理。该湿站采用先进技术设计，为晶圆厂净化室处理环境提供了优越的解决方桉。TEL Expedius湿站设计用于处理直径从4英寸到200毫米不等的晶片。该单元搭载三台强力电机，每台最高转速2500 rpm，扭矩额定值1500 N-cm。这种定位设备还具有可调节的压力传感器，可以精确控制单个晶片的处理和处理。装有先进的气体控制系统，湿式站为执行制造过程提供了安全纯净的环境。综合化学工艺和干燥系统可尽量减少化学品分配和清洁过程中的污染。该站还包括一个激光蚀刻单元，用于高精度化学蚀刻。湿式站提供了广泛的可选配件，包括自旋树皮、晶圆载体、金属升降机、加热干燥室、湿度监控器、温湿度控制机，以及超纯净净水工具。这些附加组件进一步提升了车站完美无瑕的性能。该站由于直观的图形用户界面，用户友好，操作简单。界面允许用户轻松监控和控制物料的流动，管理设置，显示实时流程数据。这些功能的结合使得湿站成为整合各种流程的可靠平台。利用先进的TOKYO ELECTRON Expedius湿式站,制造工艺运行平稳高效.该站提供卓越的性能，以及处理、定位和处理晶片的灵活性和准确性。这种非同寻常的湿式工作站产生了优越的产量、优良的质量和高度可靠的半导体器件。