二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款先进的晶圆处理设备，具有高质量、可靠的均匀性和低维护清洁协议。其先进而全面的功能集允许广泛的应用，从领先的半导体生产到研发和原型设计。TEL Expedius+的核心是一个装在纤细布局框架中的湿式车站。这个湿站非常适合各种工艺，包括条带和清洁、沉积、蚀刻、表面处理和掺杂。此外，湿站还拥有精确的扫描自动定位系统，可进行精确和可重复的处理。湿式工作站还能够进行各种工艺室配置，从单设备单端口模型到完全集成的多端口单元。根据型号的不同，该单元可以同时容纳多达十二个基板，从而实现更高效的晶圆生产和更高的吞吐量。除了宽敞的湿站和多端口配置外，TOKYO ELECTRON Expedius+还拥有一系列先进的技术，包括晶圆对晶圆的交叉晶圆测量、子腔室排气、用于增加基板兼容性的盒式到盒式传输以及集成式顶载荷测量机。所有这些功能都旨在确保晶圆和基板的正确处理,提供卓越的工艺控制,甚至实现可重复的自对准,以实现不同运行的晶圆平面。除了令人印象深刻的一系列功能和便利设施外，Expedius+还拥有耐用的自洁设计。其突破性的ArF自清洁机制有助于保持良好的晶片和基板质量,同时尽量减少人工干预,而Auto ATC工具有助于减少手动接触,从而最大限度地降低污染风险。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款高性能、高效的晶圆处理资产，拥有卓越的统一性、广泛的工艺能力和先进的功能。凭借其令人印象深刻的能力，该型号是晶圆加工需求的绝佳选择，从研发和原型设计到大规模生产。