二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293757163 待售
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ID: 293757163
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Wet bench, 12"
Process flow: CHCL-CWS-SD2-SD2-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SPM
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一种湿式车站设备，设计提供流线型、高效率的湿式化工部门，用于制造高级微电子。它是一个模块化的系统，可以适应各种生产操作，如薄膜沉积、蚀刻、清洁。该装置包括一个反应室、转运和装载站以及相关的外围设备，如化学品供应线、洗涤器通风线等。TEL Expedius+湿站设有密封的隔音防尘中转室、有效的蒸汽密封和温度调节，以及高精度的化学分配和工艺流程电子控制。封闭式转运室包括自动化远程装卸系统，以便从一个过程步骤快速高效地过渡到下一个过程步骤，而无需改变环境。反应室还包括一个无源缩放机作为一个选项，以适应微电子过程中产生的非常小的特点。TOKYO ELECTRON Expedius+湿站融合了几个用户友好的功能，例如直观的基于PLC的用户界面，以及用于监视器/操作员可视化的LCD智能触摸显示器。该工具还提供了一系列安全功能,例如用于警报和状态指示的视听资产、紧急关机模型和警告灯信标。Expedius+wet station旨在应对当今微电子制造发展迅速带来的挑战。它集成了先进的技术和设计原则,有助于降低能源成本和最大限度地提高吞吐量。这种湿式站设备非常适合各种微电子过程，需要极高的精度和精确度。
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