二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293829704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款湿法工艺设备，将最新的先进喷雾技术与TEL的先进自动化和机器人处理相结合。它是一个先进的湿站，实现行业领先的清洁、沉积、蚀刻和钝化过程，以创造高效的产品结构。该系统的核心是先进的MicroMist技术，利用高速喷嘴制造精细、均匀的液滴，以实现最佳的工艺控制。这种数字喷嘴每排可提供多达800个喷嘴,精度超过0.5 um,能够在实时过程监控下准确控制喷雾特性。该装置允许精确输送任何特定液体，包括化学品、气体和挥发性液体。TEL Expedius+还将集成的智能机器人手臂集成到其工艺平台中，提供精确的自动化。这种称为TriCluster的机械臂可以针对所有类型的流程需求进行自定义配置,并且独立于控制软件进行编程。这提供了从定位、方向和运动控制到整个过程的全面灵活性和控制。除了自动化特性外，TOKYO ELECTRON Expedius+还提供先进的晶圆位置处理和控制、清洁和加载臂以及优越的晶圆表面质量和均匀性。优越的晶片处理和对准特性使电路模式能够高精度地放置在晶片上。改进的清洁和钝化技术被集成到机器中，以及一套广泛的过程监测和控制，以改进过程监测和可重复性。Expedius+为客户提供晶圆加工的尖端技术，如精密的、工业级的晶圆清洗、沉积和蚀刻工艺。先进的自动化、机器人处理、数字喷嘴擦洗和先进的晶圆处理相结合,为客户提供了前所未有的工艺控制和卓越的效果。