二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9032054 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一种湿式板凳，设计用于复杂的基板制造工艺。这种精密设备用于先进的半导体、印刷电路板和MEMS器件制造。湿式工作站经过专门设计，以确保可靠和可重复的基板制造，并具有精确、高质量的效果。TEL Classic Expeedius站包含四个工艺站和一个探测站。各站设有可调压泵、化学输送系统、温度控制、运动控制系统。泵可分配一系列溶剂和蚀刻剂，包括盐酸、硫酸、氯化铁和TMAH。TOKYO ELECTRON Expeedius站还有一个真空设备，其设计目的是从被加工的底物中抽走废液。真空系统旨在防止液体污染和尽量减少废物。TEL/TOKYO ELECTRON Expeedius站设计为在基材制造过程中提供高精度。多轴运动控制单元可确保精确的基板对准和阵列。温度控制系统允许精确的温度管理,以确保最佳的蚀刻和沉积.此外,可调节的大型压力泵可实现精确的输送量和压力。这种控制机器确保了可靠和可重复的基材制造工艺结果。TEL Expeedius站还设有安全联锁工具，旨在保护操作员以及设备。安全互锁资产旨在防止化学物质浓度不当、压力水平高、温度高。此外，该站还配备了先进的监控设备。此设备的设计目的是确保制造环境保持控制,同时将操作员或设备的风险降至最低。TOKYO ELECTRON Expeedius站广泛应用于半导体、印刷电路板、MEMS器件制造行业。通过提供精确、高质量的结果，该湿式站非常适合先进的基材制造工艺。