二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是为微光刻工艺设计的湿式站。它是一个自动化的多合一湿站，旨在减少半导体器件制造中使用的各种湿处理步骤所需的时间。TEL Expedius Wet Station具有多种功能，如直观的图形用户界面、流程配方、改进的用户控制、流程监控、数据记录等等。TOKYO ELECTRON Expedius是一个模块化系统，最多有三个单独的工艺模块，包括浸罐、纺纱机和干燥机。每个模块都受到独立控制和监控,以优化流程性能。浸水罐采用高速搅拌设计，以保证均匀的化学处理。在不同晶圆尺寸的情况下，纺纱机提供均匀、一致的纺纱速度和分配速率，达到均匀的效果。烘干机有可调节的真空和温度设置，以确保准确干燥。Expedius直观的图形用户界面（GUI）使用户能够创建和修改流程配方。过程配方提供精确的参数控制，并允许用户快速设置新的目标，而无需任何额外的编程工作。GUI还提供数据记录和流程后分析工具,用于记录和监控流程性能。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station先进的工艺监控能力包括关键工艺参数的实时监控，如温度、湿度、溶液浓度等。通过监控这些参数，用户可以快速识别潜在的流程问题，并采取纠正措施，以保持微光刻结果的一致性。TEL Expedius是寻求减少微光刻处理时间和成本的组织的理想解决方桉。它提供了一个用户友好且高效的解决方桉,可产生一致、高质量的结果。TOKYO ELECTRON Expedius拥有广泛的功能、易于使用的图形用户界面和先进的过程监控功能,是任何显微光刻实验室都必须具备的功能。