二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9098650 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一个湿式站，具有自动晶圆清洗技术的最新创新。它是一种用超纯水高效清洗晶片的单室工具。TEL Expedius+具有先进的功能,例如获得专利的Waterfall Recline Flush技术,在一个室内完成海绵、冲洗和干燥过程。这大大降低了维护要求,并确保了一致的清洁性能。创新的自清洁功能还可以减少停机时间和过程污染。设计了先进的晶片清洗系统，为晶片清洗过程提供高通量、高清洁度。利用TOKYO ELECTRON Expedius+获得专利的Waterfall Recline Flush功能,通过均匀地优化清洁液的流动和加热晶片,实现了较高的清洁性能。此外,集成的电机驱动转盘可确保均匀搅拌和均匀加热,从而提高清洁性能。此外，内置的预清洁处理系统改善了清洁过程中产生的表面质量，为后续薄膜和抗蚀剂提供了一致的基础。Expedius+还设计用于减少污染和最大限度地减少工艺步骤。晶圆清洗过程是自动化的,并经过仔细监控,以确保始终清洁零件。自动化进程可以预先设定所需的参数,包括周期数和时间。此外，内置脱气系统消除了大气污染物，提供了极佳的隔热性能，从而消除了室内人工脱气的需要，从而进一步降低了工艺步骤。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是需要高级晶圆清洁性能的客户的理想选择。它提供了一致的清洁性能、高效的晶片清洗过程和持久的可靠性,因为维护要求极低,这使得它成为高级晶片清洗的最佳选择。TEL Expedius+结合了快速和可靠的性能,可确保快速有效地清洁晶片,以达到最高清洁水平。